カプセルタイプフィルター
DFPC1
- ポリプロピレン製カプセルタイプのフィルター
- メディアは各フィルターから選定可能
- 小中規模の製造ライン研究やラボスケールでの少流量ろ過に適応
【用途】
純水、現像液、フォトレジスト、その他
【仕様】
| ろ過精度 | 0.04~100μｍアブソリュート／ノミナル表示 | |
| 寸法 | 全長 | 139ｍｍ |
| 外径 | 72ｍｍ | |
| 接続 | 捻込 | R1/2(PT1/2)／R1/4(PT1/4) |
| その他 | スエージロック | |
| 材質 | ハードウェア | ポリプロピレン |
| フィルター メディア | 各種(ポリプロピレン／ポリエーテルサルフォン／その他) | |
| 耐差圧強度 | 0.39MPa | |
| 耐熱温度 | 60℃ | |
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DFZC1
- オールテフロン製カプセルタイプのフィルター
- 独自のプリーツ加工によるメディア、豊富なろ過精度をご用意
- 半導体プロセスの高濃度薬品の高温のろ過に適応
【用途】
半導体高温薬液、化学薬液、フォトレジスト、濃縮酸、オゾン水、その他
【仕様】
| ろ過精度 | 0.03、0.05、0.1、0.2、0.45、1 μｍアブソリュート表示 | |
| 寸法 | 全長 | 4インチ／10インチ／20インチ／30インチ |
| 接続 | ピラーフィッティング | スーパータイプ／300シリーズ フレアーテック／バットウエルド |
| 材質 | ハードウェア | PFA |
| フィルター メディア | PTFE | |
| サポート | PTFE | |
| センターコア | PFA | |
| 耐差圧強度 | 0.55MPa／0.1MPa | |
| 耐熱温度 | 24℃／180℃ | |
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